半導体ビット カジノーハ処理システム

カスタム高性能ビット カジノーハ処理システム

Vidyard Cover

反ったビット カジノーハの取り扱い

半導体ビット カジノーハ処理の自動化

半導体ビット カジノーハ処理システム

半導体メーカーは、新しいものを見つけるという困難な課題に直面することがよくあります, ビット カジノーハの取り扱いを自動化するより効率的な方法. ビット カジノーハにはさまざまな形やサイズがあります, したがって、異なる処理要件が必要です. だから, 適切な取り扱いソリューションを見つけることは、メーカーにとって時宜を得てコストのかかる課題となる場合があります.

ここで Jabil Precision Automation が役立ちます. そうであるかどうか;s 複雑なビット カジノーハ処理アプリケーションを解決するか、現在のプロセス ツールに自動化を統合します; 当社の実績ある経験とビット カジノーハ処理の自動化と工場統合の要件に対する深い理解により、お客様のプロジェクトのすべてのニーズに対応するビット カジノーハ処理装置を開発できます.

当社は信頼性の高い設計と構築を行います, 世界の一部の業界で信頼されている半導体ビット カジノーハ ハンドリング システム’が先頭 半導体メーカー 世界中. そうであるかどうか;はターンキー機器フロントエンド モジュール (EFEM) または完全にカスタムのビット カジノーハ ハンドリング ソリューションです -- 当社のビット カジノーハ ハンドリング ノウハウは、お客様の次の自動化プロジェクトを確実に成功させます.

例: コインスタック ビット カジノーハ ハンドリング システム coinstack wafer handling system

ビット カジノーハ ハンドリング システムとは?

自動ビット カジノーハ ハンドラーは、半導体製造プロセス中のシリコン ビット カジノーハの取り扱いを自動化し、容易にするために設計されたロボット システムです. ビット カジノーハ ハンドラーは、半導体製造ライフサイクル全体を通じてさまざまな製造タスクを実行する半導体プロセス ツールと統合されています. ロボットがプロセス ツール間のビット カジノーハの搬送を容易にするため、自動ビット カジノーハ ハンドリング システムはさまざまなバック エンド オブ ライン (BEOL) またはフロント エンド オブ ライン (FEOL) 製造プロセス全体で見られます.

私たちの使命は、製造プロセス中のビット カジノーハの安全かつ効率的な搬送を容易にするソリューションを提供することです.

Jabil Precision Automation Solutions は、あらゆる種類の自動ビット カジノーハ ハンドリング システムを提供します. 当社の標準化されたビット カジノーハハンドリング自動化プラットフォームに基づく -- ビット カジノーハメイト 300 そして ビット カジノーハメイト 200 -- ビット カジノシステムは高度に構成可能であり、お客様の正確な仕様に合わせてカスタマイズされています.

例: コインスタック ビット カジノーハ ハンドリング システム metrology wafer handling system

典型的なビット カジノーハハンドリングシステムは、次の基本コンポーネントで構成されます. ソリューションの複雑さまたは単純さによる, ビット カジノハ処理のニーズに合わせてコンポーネントをカスタマイズできます.

ビット カジノーハキャリア

ビット カジノーハ キャリアは、製造プロセス中にビット カジノーハを保管および輸送するために使用されます. さまざまなビット カジノーハ キャリアとミニ環境の統合をサポートします.

  • FOUP (前開きユニバーサル ポッド)
    • 通常、300mm ビット カジノーハ アプリケーションで使用されます
  • FOSB ボックス (前開き配送ボックス)
    • 輸送中にビット カジノーハを保管
  • SMIF ポッド (標準メカニカル インターフェイス)
    • 通常、200mm ビット カジノーハ アプリケーションで使用されます
  • オープンカセット
    • 200mm 以下のビット カジノーハ アプリケーションで使用
  • コインスタック “水平型ビット カジノーハ スタッカー”
    • 通常使用される輸送用の壊れやすいビット カジノーハ (e.g. 薄くて反ったビット カジノーハ)

ビット カジノハプリアライナー

ビット カジノーハ アライナーは、重要なシステム ツールです。;ビット カジノーハを配置する前にビット カジノーハの向きを適切に調整するために使用されます;処理のために引き渡されました. 適切な位置決めは、製造時の精度と効率のレベルを決定する上で重要な役割を果たします. さまざまなビット カジノーハのフラットおよびノッチに対応可能.

利用可能なビット カジノーハアライナー:

  • 真空(裏面接触)
  • エッジ グリップ (非接触)

ビット カジノーハハンドリングロボット

ビット カジノーハハンドリングシステムの心臓部はビット カジノーハハンドリングロボットです. 適切なエンドエフェクターと組み合わせました, ロボットはプロセスステップ間のビット カジノーハの取り扱いを容易にします.

利用可能な大気圏ロボット オプション:

  • シングルアームロボット
    • 幅広いビット カジノーハハンドリング用途で使用される標準的なビット カジノーハハンドリングロボット
  • 双腕ロボット
    • ビット カジノーハ交換時間と全体的なサイクル時間を短縮
dual arm robotic wafer handling system 例: コインスタック ビット カジノーハ ハンドリング システム

私たちは、ビット カジノーハ処理プロジェクトに伴う複雑さのレベルを理解しています, それ;お客様の製造目標をサポートするソリューションの開発を支援するために、当社が利用可能なさまざまなシステム オプションを提供している理由.

利用可能なシステム オプション:

  • ISO2 までの清浄度を実現するクリーン エア ファン フィルター ユニット (FFU)
  • ESD に敏感なビット カジノーハ用の統合型イオナイザ
  • 英数字筆記者向けの光学式文字認識 (OCR) リーダー, バーコード, およびデータ マトリックス コード (DMC)
  • ビット カジノーハ反転モジュール
  • 施設ホスト ネットワークとの SECS/GEM 通信

サポートされているビット カジノーハ タイプ:

100mm から 450mm までのさまざまな種類とサイズのビット カジノーハの取り扱いをサポートします.

  • 薄いビット カジノーハ (50µ まで);m 厚さ)
  • 厚いウエハース
  • 歪んだウエハース
  • 接着ビット カジノーハ
  • トレンチ付きビット カジノーハ
  • ガラスウエハ
  • レチクル & フォトマスク
  • その他の素材はご要望に応じます
 Semiconductor Wafer Handling Systems 歪んだウエハース
 Semiconductor Wafer Handling Systems フィルム フレーム
 Semiconductor Wafer Handling Systems 薄いウエハース
 Semiconductor Wafer Handling Systems ガラスウエハ
 Semiconductor Wafer Handling Systems ガラス レチクル
 Semiconductor Wafer Handling Systems 溝付きビット カジノーハ

利用可能なエンド エフェクター テクノロジー

ビット カジノーハハンドリングロボットは、ビット カジノーハのハンドリングを容易にするさまざまなエンドエフェクタと組み合わされています. 当社は、お客様のビット カジノーハ処理ニーズに対応するシステムを構築できる、特許取得済みのエンドエフェクター技術の広範なポートフォリオを提供しています.

  • 非接触ベルヌーイ
    • 従来の取り扱い方法により汚染されやすいビット カジノーハを扱う用途に最適.
  • 真空ビット カジノ
    • さまざまなビット カジノーハや用途に適用可能な標準グリップ ソリューション.
  • エッジ グリップ ウエハー
    • 接触除外ゾーンのあるアプリケーションのビット カジノに最適
  • デュアル手首エンドエフェクター
    • スループットの向上, サイクルタイムの改善, ビット カジノーハ交換時間の短縮
例: ガラス ビット カジノーハを備えたエッジ グリップ ビット カジノーハ エンド エフェクタ

edge grip end effector hanlding a glass wafer

Vidyard Cover

フォトマスク レチクル クリーニング システム

Vidyard Cover

非接触ビット カジノーハ処理

自動ビット カジノーハ処理の利点

あなたがそうであるかどうか;手動ビット カジノーハ処理から移行中、またはプロセス ツールと自動化の統合を検討中– 当社には、お客様のニーズを満たすソリューションを提供する経験があります.

  • スループットと収量の増加
  • 高価で壊れやすいビット カジノーハへの損傷を排除
  • 精度と再現性の向上
  • 品質管理とトレーサビリティの向上

カスタム半導体ビット カジノーハ処理プロジェクト

標準的なシリコン ビット カジノーハ処理アプリケーションに加えて, カスタム自動ソリューションも製造しています, 特定のニーズに合わせてカスタマイズ.

例:

  • レチクルクリーナー
  • レチクルソーター
  • コインスタックパッカー
  • パレット + ビット カジノーハ アプリケーション
例: カスタム ガラス レチクル ソーター システム automated glass reticle sorter system

お問い合わせ

させて's は、最も困難なビット カジノーハ処理オートマトンのニーズに取り組むビット カジノーハ処理ソリューションを開発します

ビット カジノする準備はできましたか?

ビット カジノの専門家にご連絡ください

詳細はこちら

ビット カジノを提供している業界